簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "Chung-huei KUAN".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="化學機械拋光"


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    整合文字探勘和本體論 於碳化矽晶圓化學機械拋光製程 專利分析研究
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生： 邱靖惠   指導教授： 陳炤彰
    • 隨著電子電力系統需求的規格逐年提升，碳化矽（Silicon Carbide, SiC）被視為未來高功率元件的理想材料，但因SiC本身的高硬度及高抗化學性，使其在化學機械拋光（Chemical Mec…
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